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◆ Der Lasererkennungskopf und der Probenscantisch sind integriert, die Struktur ist sehr stabil und die Entstörung ist stark
◆ Präzisions-Sondenpositionierungsvorrichtung, Laserpunkt-Ausrichtungseinstellung ist sehr einfach
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◆ Die einachsige Antriebsprobe nähert sich automatisch vertikal der Sonde, sodass die Nadelspitze senkrecht zum Probenscan steht
◆ Die intelligente Nadelvorschubmethode der motorgesteuerten, unter Druck stehenden, piezoelektrischen Keramik-Automatikerkennung schützt die Sonde und die Probe
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◆ Automatische optische Positionierung, keine Fokussierung erforderlich, Echtzeitbeobachtung und Positionierung des Abtastbereichs der Sondenprobe
◆ Federaufhängung stoßfeste Methode, einfach und praktisch, gute stoßfeste Wirkung
◆ Metallgeschirmte Schallschutzbox, eingebauter hochpräziser Temperatur- und Feuchtigkeitssensor, Echtzeitüberwachung der Arbeitsumgebung
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◆ Integrierter Scanner-Editor für nichtlineare Korrekturen, Charakterisierung im Nanometerbereich und Messgenauigkeit besser als 98 %
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Spezifikation |
A62.4500 |
A622.4501 |
A62.4503 |
A62.4505 |
Arbeitsmodus |
Klopfmodus
[Optional] Kontaktmodus Reibungsmodus Phasenmodus Magnetischer Modus Elektrostatischer Modus |
Kontaktmodus Klopfmodus
[Optional] Reibungsmodus Phasenmodus Magnetischer Modus Elektrostatischer Modus |
Kontaktmodus Klopfmodus
[Optional] Reibungsmodus Phasenmodus Magnetischer Modus Elektrostatischer Modus |
Kontaktmodus Klopfmodus
[Optional] Reibungsmodus Phasenmodus Magnetischer Modus Elektrostatischer Modus |
Aktuelle Spektrumskurve |
RMS-Z-Kurve
[Optional] FZ-Kraftkurve |
RMS-Z-Kurve FZ-Kraftkurve |
RMS-Z-Kurve FZ-Kraftkurve |
RMS-Z-Kurve FZ-Kraftkurve |
XY-Scanbereich |
20 × 20 um |
20 × 20 um |
50 × 50 um |
50 × 50 um |
XY-Scanauflösung |
0,2 nm |
0,2 nm |
0,2 nm |
0,2 nm |
Z-Scanbereich |
2,5 um |
2,5 um |
5um |
5um |
Y Scanauflösung |
0,05 nm |
0,05 nm |
0,05 nm |
0,05 nm |
Scangeschwindigkeit |
0,6Hz~30Hz |
0,6Hz~30Hz |
0,6Hz~30Hz |
0,6Hz~30Hz |
Scan-Winkel |
0~360° |
0~360° |
0~360° |
0~360° |
Probengröße |
Φ≤90mm H≤20mm |
Φ≤90mm H≤20mm |
Φ≤90mm H≤20mm |
Φ≤90mm H≤20mm |
Bewegung des XY-Tisches |
15 × 15 mm |
15 × 15 mm |
25 × 25 um |
25 × 25 um |
Stoßdämpfendes Design |
Federaufhängung |
Federaufhängung Abschirmbox aus Metall |
Federaufhängung Abschirmbox aus Metall |
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Optisches System |
4x Ziel Auflösung 2,5 um |
4x Ziel Auflösung 2,5 um |
10x Ziel Auflösung 1um |
Okular 10x Infinity Plan LWD APO 5x10x20x50x 5.0M Digitalkamera 10-Zoll-LCD-Monitor mit Messfunktion LED Kohler-Beleuchtung Koaxiale Grob- und Feinfokussierung |
Ausgabe |
USB2.0/3.0 |
USB2.0/3.0 |
USB2.0/3.0 |
USB2.0/3.0 |
Software |
Gewinne XP/7/8/10 |
Gewinne XP/7/8/10 |
Gewinne XP/7/8/10 |
Gewinne XP/7/8/10 |
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Mikroskop |
Optisches Mikroskop |
Elektronenmikroskop |
Rastersondenmikroskop |
Max. Auflösung (um) |
0,18 |
0,00011 |
0,00008 |
Anmerkung |
Ölimmersion 1500x |
Imaging von Diamant-Kohlenstoffatomen |
Abbildung graphitischer Kohlenstoffatome höherer Ordnung |
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Sonden-Proben-Wechselwirkung |
Signal messen |
Information |
Macht |
Elektrostatische Kraft |
Form |
Tunnelstrom |
Aktuell |
Form, Leitfähigkeit |
Magnetkraft |
Phase |
Magnetische Struktur |
Elektrostatische Kraft |
Phase |
Ladungsverteilung |
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Auflösung |
Arbeitsbedingung |
Arbeitstemperatur |
Beschädigung der Probe |
Inspektionstiefe |
SPM |
Atomebene 0,1 nm |
Normal, Flüssigkeit, Vakuum |
Raum- oder Niedrigtemperatur |
Keiner |
1~2 Atomebene |
TEM |
Punkt 0,3 ~ 0,5 nm Gitter 0,1 ~ 0,2 nm |
Hochvakuum |
Raumtemperatur |
Klein |
Normalerweise <100nm |
SEM |
6-10nm |
Hochvakuum |
Raumtemperatur |
Klein |
10mm @10x 1um @10000x |
FIM |
Atomebene 0,1 nm |
Super-Hochvakuum |
30~80K |
Schaden |
Atomdicke |
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